ICP-MSは、多元素を同時にかつ高感度で分析できる元素分析装置です。プラズマ（ICP）をイオン源として使用し、発生したイオンを質量分析部（MS）で検出します。周期表上のほとんどすべての元素を同時に測定可能であり、サブppb（ng/L）の濃度レベルで測定できます。
環境試料中の微量の有害金属分析等への応用が期待され、特に最近は、環境分野における各種公定法の改正に伴い、環境基準値、排水基準値の低下に対応するためICP-MSが採用されています。
またコリジョン/リアクションセルの搭載により主成分等の影響で生じるスペクトル干渉を除去できるので、製品・材料のような高マトリクス試料においても、その能力を発揮します。

ICP-MSの特徴
1）高感度分析が可能。ほとんどの元素の検出下限値がpptオーダー である。
2）多元素同時分析及び同位体比の測定が可能
3）短時間で定性・定量が可能（1サンプル測定：5分程度）
4）ダイナミックレンジが8桁と広い
5）コリジョン・リアクションセルの搭載により、スペクトル干渉を除去

ICP-MS分析例
1）材料・製品中のカドミウム、鉛等の分析（RoHS指令）
2）薬剤、洗浄水、工程水に含まれる微量元素の分析
3）製品表面に付着した金属イオン類の分析
4）水道水・飲料水中の金属イオン類一斉分析
5）環境・土壌試料の分析