蛍光Ｘ線分析法は、測定試料にＸ線を照射した時に発生する蛍光Ｘ線のエネルギーや強度から、含有される元素成分や構成比率を分析する手法です。試料中の含有元素情報を高感度・短時間で分析することが可能で、異物検査では主に無機物（金属類）について分析をおこないます。

　分析例
・製品上に発生した異物（付着物、混入物）の性状調査
・製品に発生した不具合原因の調査（付着物、発生物、ふくれ、変色等）
・製品・ロット間の比較
・製品の成分、構成比率推定（材質不明の場合）
・有害元素（RoHS等）のスクリーニング

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